中国新興企業、EUV光源の試作機を公開。出力15W、部品の9割が国産

中国のスタートアップが、EUV（極端紫外線）光源のプロトタイプをデモした。Tom's Hardware が報じたもので、見出しと記事 URL に含まれる情報によれば、光源の出力は 15W、部品の 90% が中国国内製で、実用水準に達するまでにはまだ数年かかるとされている。

現時点で入手できているのは見出しと URL の情報のみで、企業名、光の発生方式、デモの場所や時期、今後の開発計画は確認できていない。

EUV 光源は、先端ロジック半導体やメモリの微細な回路を描く EUV 露光装置の中核部品にあたる。量産の露光装置では、ウエハーを一定の速度で処理するために大きな光源出力が求められる。今回の 15W という数字について、記事自体が「実用化は数年先」としていることから、量産に必要な水準とはまだ開きがあるとみられる。

一方で、部品の大半を国内で調達したとする点は、先端半導体の製造装置を国産化しようとする中国の取り組みの一端を示している。どこまで出力を引き上げられるかが、今後の注目点になる。