東京応化工業、「世界最大級」のフォトレジスト製造棟が完成

EE Times Japanは、東京応化工業のフォトレジスト製造棟が完成したと報じた。同社はこの製造棟を「世界最大級」と位置づけている。

フォトレジストは、半導体の露光工程でウエハー上に塗布し、光を当てて回路パターンを転写するための感光性材料だ。微細化が進むほど材料に求められる性能は高くなり、品質と安定供給が半導体の生産を左右する重要な素材となっている。

今回の製造棟について、建設場所、生産能力の規模、どの種類のレジストを主に生産するのか、本格稼働の時期や投資額は見出しからは分かっていない。「世界最大級」が何を基準にした表現なのかも、続報で確認する必要がある。

半導体の生産能力の拡大が世界的に続くなか、材料メーカーが供給能力を大きく積み増す動きは、需要の伸びを見込んだ投資とみられる。