トレンチ型ダイヤモンドMOSFET、「世界初」の動作実証に成功

ダイヤモンドを使った新しいトレンチ型MOSFETの動作を「世界初」として実証したと、EE Times Japanが報じた。

見出しからは、どの研究機関や企業による成果か、どの程度の電流や耐圧を実現したのかは分からない。

MOSFETは、電流のオン・オフを切り替えるトランジスタの一種で、電力の変換や制御に使うパワー半導体の中核部品になる。トレンチ型は、半導体の表面に溝（トレンチ）を掘って電極を埋め込む構造を指し、素子を小さくしながら電流を流しやすくできるとされる。

ダイヤモンドは、電圧に耐える力や熱を逃がす性能が高く、シリコンや炭化ケイ素（SiC）、窒化ガリウム（GaN）に続く次世代のパワー半導体材料として研究が続けられてきた。一方で、素子として安定して動かすことの難しさが実用化の壁とされてきた。今回の実証は、ダイヤモンドを使ったパワー半導体の実用化に向けた一歩とみられる。詳細は出典を参照してほしい。